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近日，睿励科学仪器（上海）有限公司（简称“睿励科学仪器”）于近日宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。

所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

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据悉，睿励科学仪器成立于2015年，致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片工艺检测设备。其产品已实现产业化，在集成电路芯片制造、LED、OLED、光通讯等领域都有广泛应用。作为工艺检测设备的领军企业，睿励科学仪器自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，帮助生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了客户的认可和好评。